|
|
|
|
| LEADER |
00000nam2a2200000 4500 |
| 001 |
294218 |
| 005 |
20231102000655.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\319273
|
| 090 |
|
|
|a 294218
|
| 100 |
|
|
|a 20150512d1979 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
0 |
|
|a Вып. 5
|
| 210 |
|
|
|d 1979
|
| 215 |
|
|
|a 159 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце статей
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\288648
|x 0320-4502
|t Активируемые процессы технологии микроэлектроники
|o междуведомственный тематический научный сборник
|f Таганрогский радиотехнический институт (ТРТИ)
|v Вып. 5
|d 1975-1986
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектронные схемы
|x Производство
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43828
|9 63270
|
| 610 |
1 |
|
|a дислокации
|
| 610 |
1 |
|
|a примеси
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузия
|
| 610 |
1 |
|
|a упругие напряжения
|
| 610 |
1 |
|
|a легированные пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a воспроизводимость
|
| 610 |
1 |
|
|a мышьяк
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a слои
|
| 610 |
1 |
|
|a электрофизические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a термообработка
|
| 610 |
1 |
|
|a имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-лучевая обработка
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002
|z rus
|v 3
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150512
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20170213
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
