Вып. 5; Активируемые процессы технологии микроэлектроники

מידע ביבליוגרפי
Parent link:	Активируемые процессы технологии микроэлектроники: междуведомственный тематический научный сборник/ Таганрогский радиотехнический институт (ТРТИ). Вып. 5.— , 1975-1986.— 0320-4502
שפה:	רוסית
יצא לאור:	1979
נושאים:	Микроэлектронные схемы > Производство дислокации примеси диффузия упругие напряжения легированные пленки осаждение воспроизводимость мышьяк кремний слои электрофизические свойства термообработка имплантация ионно-лучевая обработка
פורמט:	ספר
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=294218

תיאור
תיאור פיזי:	159 с. ил.

פריטים דומים