Физические явления в технологии микроэлектроники: сборник научных трудов

Физические явления в технологии микроэлектроники: сборник научных трудов

מידע ביבליוגרפי
מחבר תאגידי:	Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
מחברים אחרים:	Шермергор Т. Д. Тимофей Дмитриевич
שפה:	רוסית
יצא לאור:	Москва, Изд-во МИЭТ, 1982
נושאים:	Микроэлектронные схемы интегральные > Производство > Физические основы тонкие пленки оптические свойства электрофизические свойства электронные пучки полимерные пленки взаимодействия механические напряжения кремний кристаллы термообработка
פורמט:	ספר
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=291224

פריטים דומים

Вопросы создания и оптимизации оборудования микроэлектроники: сборник научных трудов
יצא לאור: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1984)

Вып. 5; Активируемые процессы технологии микроэлектроники
יצא לאור: (1979)

Физические основы функциональной микроэлектроники: сборник научных трудов
יצא לאור: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1989)

Явления токопереноса в тонкопленочных арсенидгаллиевых структурах
מאת: Костылев С. А. Сергей Александрович
יצא לאור: (Киев, Наукова думка, 1990)

Физико-технологические основы микроэлектроники: сборник научных трудов
יצא לאור: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1985)

Физические основы микроэлектроники: сборник научных трудов
יצא לאור: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1986)

Тонкие нерганические пленки в микроэлектронике
יצא לאור: (Ленинград, Наука, 1972)

Структура компонентов БИС
מאת: Эдельман Ф. Л. Феликс Леонидович
יצא לאור: (Новосибирск, Наука, 1980)

Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники: пер. с англ.
מאת: Джоветт Ч. Е. Чарльз Е.
יצא לאור: (Москва, Металлургия, 1980)

Вып. 4; Активируемые процессы технологии микроэлектроники
יצא לאור: (1978)

Физические основы микроэлектроники: сборник научных трудов
יצא לאור: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1980)

Проблемы субмикронной технологии
יצא לאור: (Москва, Наука, 1993)

Ионно-активированная кристаллизация пленок
מאת: Лютович А. С.
יצא לאור: (Ташкент, Фан, 1982)

Физические основы микротехнологии: пер. с англ.
מאת: Броудай И. Ивор
יצא לאור: (Москва, Мир, 1985)

Свойства тонких пленок системы Та2О5-La2O3, полученных золь-гель методом; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 308, № 1
מאת: Лисеенко О. В.
יצא לאור: (2005)

Тонкопленочная технология: пер. с англ.
מאת: Берри Р.
יצא לאור: (Москва, Энергия, 1972)

Ч. 1; Технологические основы микроэлектроники
יצא לאור: (2008)

О влиянии условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных плёнок; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
מאת: Гренадёров А. С.
יצא לאור: (2018)

Вакуумная техника в производстве интегральных схем
מאת: Данилин Б. С. Борис Степанович
יצא לאור: (Москва, Энергия, 1972)

Ультрадисперсные частицы и их ансамбли: сборник научных трудов
יצא לאור: (Киев, Наукова думка, 1982)

Влияние параметров MOCVD-осаждения на структуру, электрофизические и магнитные свойства тонких пленок Co; Химия и технология полимерных и композиционных материалов
מאת: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
יצא לאור: (2012)

Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
מאת: Папков В. С. Владимир Сергеевич
יצא לאור: (Москва, Энергия, 1979)

Технология толстых и тонких пленок: пер. с англ.
יצא לאור: (Москва, Мир, 1972)

Mechanical Properties of Titanium Films Deposited by Pulsed High-Power Ion Beams; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
יצא לאור: (2004)

Технология и конструирование интегральных микросхем: учебное пособие для вузов
מאת: Березин А. С. Андрей Сергеевич
יצא לאור: (Москва, Радио и связь, 1992)

Получение тонких полимерных пленок из газовой фазы
מאת: Ткачук Б. В. Борис Васильевич
יצא לאור: (Москва, Химия, 1977)

Влияние строения комплексных частиц в пленкообразующем растворе на структуру и свойства пленок In[2]O[3]:Sn и SnO[2]:Sb; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 2
מאת: Кузнецова С. А.
יצא לאור: (2004)

Система кремний - двуокись кремния в МОП-структурах
מאת: Румак Н. В. Николай Владимирович
יצא לאור: (Минск, Наука и техника, 1986)

Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники
מאת: Гиваргизов Е. И. Евгений Инвиевич
יצא לאור: (Москва, Наука, 1988)

Структурные и электрофизические свойства плёнок нестехиометрических оксидов гафния, циркония и тантала, синтезированных методом ионно-лучевого распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.8
מאת: Герасимова А. А. Алина Константиновна
יצא לאור: (Новосибирск, 2023)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
מאת: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
יצא לאור: (Томск, 2023)

Технология и конструирование интегральных микросхем: учебное пособие
מאת: Березин А. С. Андрей Сергеевич
יצא לאור: (Москва, Радио и связь, 1983)

Synthesis of Polycrystalline Diamond Films in Abnormal Glow Discharge and their Properties; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 652 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2015)
יצא לאור: (2015)

Кн. 1; Технология СБИС
יצא לאור: (1986)

Электрические явления в тонких пленках: Избранные главы из книги "Thin film phenomena"; пер. с англ.
מאת: Чопра К. Л.
יצא לאור: (Москва, Мир, 1972)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
מאת: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
יצא לאור: (Томск, 2023)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
מאת: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
יצא לאור: (Якутск, 2023)

Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
מאת: Васильев В. Ю.
יצא לאור: (Новосибирск, НГТУ, 2021)

Modification of optical and electrical properties of SnO[2] under the influence of argon ion beam; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016
מאת: Umnov S. P. Sergey Pavlovich
יצא לאור: (2017)

Тонкие поликристаллические и аморфные пленки. Физика и применения: пер. с англ.
יצא לאור: (Москва, Мир, 1983)