Физические явления в технологии микроэлектроники сборник научных трудов

Физические явления в технологии микроэлектроники, сборник научных трудов

Bibliographic Details
Corporate Author:	Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
Other Authors:	Шермергор Т. Д. Тимофей Дмитриевич (651)
Language:	Russian
Published:	Москва, Изд-во МИЭТ, 1982
Subjects:	тонкие пленки оптические свойства электрофизические свойства электронные пучки полимерные пленки взаимодействия механические напряжения кремний кристаллы термообработка
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=291224

Similar Items

Вопросы создания и оптимизации оборудования микроэлектроники сборник научных трудов
Published: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1984)

Физические основы функциональной микроэлектроники сборник научных трудов
Published: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1989)

Вып. 5
Published: (1979)

Явления токопереноса в тонкопленочных арсенидгаллиевых структурах
by: Костылев С. А. Сергей Александрович
Published: (Киев, Наукова думка, 1990)

Физико-технологические основы микроэлектроники сборник научных трудов
Published: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1985)

Структура компонентов БИС
by: Эдельман Ф. Л. Феликс Леонидович
Published: (Новосибирск, Наука, 1980)

Тонкие нерганические пленки в микроэлектронике
Published: (Ленинград, Наука, 1972)

Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники пер. с англ.
by: Джоветт Ч. Е. Чарльз Е.
Published: (Москва, Металлургия, 1980)

Проблемы субмикронной технологии
Published: (Москва, Наука, 1993)

Физические основы микроэлектроники сборник научных трудов
Published: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1986)

Ионно-активированная кристаллизация пленок
by: Лютович А. С.
Published: (Ташкент, Фан, 1982)

Свойства тонких пленок системы Та2О5-La2O3, полученных золь-гель методом
by: Лисеенко О. В.
Published: (2005)

Тонкопленочная технология пер. с англ.
by: Берри Р.
Published: (Москва, Энергия, 1972)

Физические основы микроэлектроники сборник научных трудов
Published: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1980)

О влиянии условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных плёнок
by: Гренадёров А. С.
Published: (2018)

Ультрадисперсные частицы и их ансамбли сборник научных трудов
Published: (Киев, Наукова думка, 1982)

Влияние параметров MOCVD-осаждения на структуру, электрофизические и магнитные свойства тонких пленок Co
by: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Published: (2012)

Вакуумная техника в производстве интегральных схем
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергия, 1972)

Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
by: Папков В. С. Владимир Сергеевич
Published: (Москва, Энергия, 1979)

Технология толстых и тонких пленок пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1972)

Физические основы микротехнологии пер. с англ.
by: Броудай И. Ивор
Published: (Москва, Мир, 1985)

Влияние строения комплексных частиц в пленкообразующем растворе на структуру и свойства пленок In[2]O[3]:Sn и SnO[2]:Sb
by: Кузнецова С. А.
Published: (2004)

Mechanical Properties of Titanium Films Deposited by Pulsed High-Power Ion Beams
Published: (2004)

Получение тонких полимерных пленок из газовой фазы
by: Ткачук Б. В. Борис Васильевич
Published: (Москва, Химия, 1977)

Технология и конструирование интегральных микросхем учебное пособие для вузов
by: Березин А. С. Андрей Сергеевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1992)

Структурные и электрофизические свойства плёнок нестехиометрических оксидов гафния, циркония и тантала, синтезированных методом ионно-лучевого распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 1.3.8
by: Герасимова А. А. Алина Константиновна
Published: (Новосибирск, 2023)

Система кремний - двуокись кремния в МОП-структурах
by: Румак Н. В. Николай Владимирович
Published: (Минск, Наука и техника, 1986)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
by: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Published: (Томск, 2023)

Вып. 4
Published: (1978)

Synthesis of Polycrystalline Diamond Films in Abnormal Glow Discharge and their Properties
Published: (2015)

Технология и конструирование интегральных микросхем учебное пособие
by: Березин А. С. Андрей Сергеевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1983)

Электрические явления в тонких пленках Избранные главы из книги "Thin film phenomena" пер. с англ.
by: Чопра К. Л.
Published: (Москва, Мир, 1972)

Кн. 1
Published: (1986)

Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники
by: Гиваргизов Е. И. Евгений Инвиевич
Published: (Москва, Наука, 1988)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
by: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Published: (Томск, 2023)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
by: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Published: (Якутск, 2023)

Modification of optical and electrical properties of SnO[2] under the influence of argon ion beam
by: Umnov S. P. Sergey Pavlovich
Published: (2017)

Тонкие поликристаллические и аморфные пленки. Физика и применения пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1983)

Тонкие пленки и их применение материалы II республиканской конференции, Вильнюс, 2-4 декабря 1968 г.
Published: (Вильнюс, [Б. и.], 1969)

Т. 3, Ч. 1 : Трехкомпонентные силикатные системы
Published: (1977)