Физические явления в технологии микроэлектроники: сборник научных трудов

Detalles Bibliográficos
Autor Corporativo:	Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
Outros autores:	Шермергор Т. Д. Тимофей Дмитриевич
Idioma:	ruso
Publicado:	Москва, Изд-во МИЭТ, 1982
Subjects:	Микроэлектронные схемы интегральные > Производство > Физические основы тонкие пленки оптические свойства электрофизические свойства электронные пучки полимерные пленки взаимодействия механические напряжения кремний кристаллы термообработка
Formato:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=291224

Títulos similares