|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
291224 |
| 005 |
20231102000351.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 83-93257
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\315789
|
| 090 |
|
|
|a 291224
|
| 100 |
|
|
|a 20150413d1982 k z0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Физические явления в технологии микроэлектроники
|e сборник научных трудов
|f Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ) ; гл. ред. Т. Д. Шермергор
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Изд-во МИЭТ
|d 1982
|
| 215 |
|
|
|a 88 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце ст.
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|x Физические основы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43850
|9 63291
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a оптические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a электрофизические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a электронные пучки
|
| 610 |
1 |
|
|a полимерные пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a взаимодействия
|
| 610 |
1 |
|
|a механические напряжения
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a термообработка
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002
|z rus
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Шермергор
|b Т. Д.
|g Тимофей Дмитриевич
|4 651
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
|c (1965-1992)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\19357
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150413
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20180507
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
