Физические явления в технологии микроэлектроники: сборник научных трудов

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلف مشترك:	Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
مؤلفون آخرون:	Шермергор Т. Д. Тимофей Дмитриевич
اللغة:	الروسية
منشور في:	Москва, Изд-во МИЭТ, 1982
الموضوعات:	Микроэлектронные схемы интегральные > Производство > Физические основы тонкие пленки оптические свойства электрофизические свойства электронные пучки полимерные пленки взаимодействия механические напряжения кремний кристаллы термообработка
التنسيق:	كتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=291224

الوصف
وصف مادي:	88 с. ил.

مواد مشابهة