Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ) & Шермергор Т. Д. Тимофей Дмитриевич. (1982). Физические явления в технологии микроэлектроники: сборник научных трудов. Москва, Изд-во МИЭТ, 1982.
Chicago Style (17th ed.) CitationМосковский государственный институт электронной техники (МИЭТ) and Шермергор Т. Д. Тимофей Дмитриевич. Физические явления в технологии микроэлектроники: сборник научных трудов. Москва, Изд-во МИЭТ, 1982, 1982.
MLA (9th ed.) CitationМосковский государственный институт электронной техники (МИЭТ) and Шермергор Т. Д. Тимофей Дмитриевич. Физические явления в технологии микроэлектроники: сборник научных трудов. Москва, Изд-во МИЭТ, 1982, 1982.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.