|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
291132 |
| 005 |
20231102000345.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 83-93274
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\315697
|
| 090 |
|
|
|a 291132
|
| 100 |
|
|
|a 20150411d1982 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Автоматизация производственных процессов в микроэлектронике
|e сборник научных трудов
|f Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c [Б. и.]
|d 1982
|
| 215 |
|
|
|a 140 с.
|c ил.
|d 20 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце статей
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43811
|9 63253
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a автоматизация
|
| 610 |
1 |
|
|a сборочные роботы
|
| 610 |
1 |
|
|a роботизация
|
| 610 |
1 |
|
|a магнитострикционные приводы
|
| 610 |
1 |
|
|a прецизионное позиционироывание
|
| 610 |
1 |
|
|a большие интегральные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a особо чистые помещения
|
| 610 |
1 |
|
|a микроклимат
|
| 610 |
1 |
|
|a комплексный контроль
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77
|z rus
|v 4
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
|c (1965-1992)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\19357
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150411
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20181210
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
