Автоматизация производственных процессов в микроэлектронике, сборник научных трудов

Bibliographic Details
Corporate Author:	Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
Published:	Москва, [Б. и.], 1982
Subjects:	технологические процессы автоматизация сборочные роботы роботизация магнитострикционные приводы прецизионное позиционироывание большие интегральные схемы особо чистые помещения микроклимат комплексный контроль
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=291132

Similar Items