Моделирование технологических процессов микроэлектроники

Моделирование технологических процессов микроэлектроники

Bibliographic Details
Corporate Authors:	Физико-технологический институт, Российская академия наук
Other Authors:	Махвиладзе Т. М
Language:	Russian
Published:	Москва, Наука, 1992
Series:	Труды ФТИАН Т. 3
Subjects:	электроника интегральные микросхемы производство математические исследования фотолитография электронная литография сухое травление материалы поверхности импульсная обработка
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=29031

Similar Items

Литография в производстве интегральных микросхем: учебное пособие для профтехобразования
by: Родионов Ю. А. Юрий Анатольевич
Published: (Минск, Дизайн ПРО, 1998)

Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебное пособие
by: Мокеев О. К. Олег Константинович
Published: (Москва, Высшая школа, 1979)

Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: учебное пособие
by: Курносов А. И. Анатолий Иванович
Published: (Москва, Высшая школа, 1979)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
by: Королев М. А. Михаил Александрович
Published: (2009)

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур: математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами курс лекций
by: Юрчук С. Ю.
Published: (Москва, МИСИС, 2013)

Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: учебное пособие
by: Курносов А. И. Анатолий Иванович
Published: (Москва, Высшая школа, 1986)

Технология и конструирование интегральных микросхем: учебное пособие для вузов
by: Березин А. С. Андрей Сергеевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1992)

Базовые технологические процессы микросистемной техники
by: Потловский К. Г.
Published: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2013)

Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров: учебник
by: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1987)

Технология и конструирование интегральных микросхем: учебное пособие
by: Березин А. С. Андрей Сергеевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1983)

Основы микроэлектроники: учебник
by: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Published: (СПб., Лань, 2008)

Основы микроэлектроники: учебник
by: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Published: (Москва, Высшая школа, 1983)

Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебник
by: Мокеев О. К. Олег Константинович
Published: (Москва, Высшая школа, 1985)

Основы микроэлектроники
by: Ефимов И. Е.
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2022)

Интегральные схемы. Материалы, приборы, изготовление: пер. с англ.
by: Тилл У. Уильям
Published: (Москва, Мир, 1985)

Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1987)

Проблемы микроэлектронной технологии
Published: (Москва, Наука, 1992)

Физика субмикронной литографии
by: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Published: (Москва, Наука, 1990)

Технологические основы изготовления интегральных микросхем учебное пособие
by: Терехов А. И.
Published: (Иваново, ИГЭУ, 2018)

Фотолитография и оптика
Published: (Москва, Советское радио, 1974)

Ч. 2; Микролитография: принципы, методы, материалы
Published: (1990)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Published: (2007)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Published: (2011)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов
by: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Published: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство
by: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Published: (Долгопрудный, Интеллект, 2016)

Физические основы микроэлектроники: учебник для вузов
by: Марголин В. И. Владимир Игоревич
Published: (Москва, Академия, 2008)

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами. Курс лекций
by: Юрчук С. Ю.
Published: (Москва, МИСИС, 2013)

Кн. 2; Космическая электроника
Published: (2015)

Основы микроэлектроники: учебное пособие для вузов
by: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Published: (Москва, Связь, 1975)

Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: учебное пособие для среднего профессионально-технического образования
by: Курносов А. И. Анатолий Иванович
Published: (Москва, Высшая школа, 1980)

Печатные платы: конструкции и материалы
by: Медведев А. М.
Published: (Москва, Техносфера, 2005)

Технология производства полупроводниковых приборов
by: Гаврилов Р. А. Роман Александрович
Published: (Ленинград, Энергия, 1968)

Оборудование полупроводникового производства: учебное пособие для вузов
by: Блинов И. Г. Иван Григорьевич
Published: (Москва, Машиностроение, 1986)

Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
Published: (Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008)

Металлические покрытия опор скольжения
by: Алексеев Н. М. Николай Матвеевич
Published: (Москва, Наука, 1973)

Технология полупроводникового производства (программированное пособие): учебное пособие
by: Мокеев О. К. Олег Константинович
Published: (Москва, Высшая школа, 1984)

Физические основы электроники
by: Бобылев Ю. Н.
Published: (Москва, Горная книга, 2005)

Технология интегральных схем: учебное пособие
by: Достанко А. П. Анатолий Павлович
Published: (Минск, Вышэйшая школа, 1982)

Comparison on Efficiency of Solid-Lubricant Fillers for Polyetheretherketone-Based Composites; AIP Conference Proceedings; Vol. 2051 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2018 (AMHS’18)
Published: (2018)

Технология микросхем: учебное пособие
by: Парфенов О. Д. Олег Дмитриевич
Published: (Москва, Высшая школа, 1986)