Моделирование технологических процессов микроэлектроники

Моделирование технологических процессов микроэлектроники

Bibliografiset tiedot
Yhteisötekijät:	Физико-технологический институт, Российская академия наук
Muut tekijät:	Махвиладзе Т. М
Kieli:	venäjä
Julkaistu:	Москва, Наука, 1992
Sarja:	Труды ФТИАН Т. 3
Aiheet:	электроника интегральные микросхемы производство математические исследования фотолитография электронная литография сухое травление материалы поверхности импульсная обработка
Aineistotyyppi:	Kirja
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=29031

Samankaltaisia teoksia

Литография в производстве интегральных микросхем: учебное пособие для профтехобразования
Tekijä: Родионов Ю. А. Юрий Анатольевич
Julkaistu: (Минск, Дизайн ПРО, 1998)

Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебное пособие
Tekijä: Мокеев О. К. Олег Константинович
Julkaistu: (Москва, Высшая школа, 1979)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Tekijä: Королев М. А. Михаил Александрович
Julkaistu: (2009)

Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: учебное пособие
Tekijä: Курносов А. И. Анатолий Иванович
Julkaistu: (Москва, Высшая школа, 1979)

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур: математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами курс лекций
Tekijä: Юрчук С. Ю.
Julkaistu: (Москва, МИСИС, 2013)

Технология и конструирование интегральных микросхем: учебное пособие для вузов
Tekijä: Березин А. С. Андрей Сергеевич
Julkaistu: (Москва, Радио и связь, 1992)

Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: учебное пособие
Tekijä: Курносов А. И. Анатолий Иванович
Julkaistu: (Москва, Высшая школа, 1986)

Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров: учебник
Tekijä: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Julkaistu: (Москва, Радио и связь, 1987)

Базовые технологические процессы микросистемной техники
Tekijä: Потловский К. Г.
Julkaistu: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2013)

Технология и конструирование интегральных микросхем: учебное пособие
Tekijä: Березин А. С. Андрей Сергеевич
Julkaistu: (Москва, Радио и связь, 1983)

Основы микроэлектроники: учебник
Tekijä: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Julkaistu: (СПб., Лань, 2008)

Основы микроэлектроники: учебник
Tekijä: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Julkaistu: (Москва, Высшая школа, 1983)

Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебник
Tekijä: Мокеев О. К. Олег Константинович
Julkaistu: (Москва, Высшая школа, 1985)

Основы микроэлектроники
Tekijä: Ефимов И. Е.
Julkaistu: (Санкт-Петербург, Лань, 2022)

Интегральные схемы. Материалы, приборы, изготовление: пер. с англ.
Tekijä: Тилл У. Уильям
Julkaistu: (Москва, Мир, 1985)

Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ.
Julkaistu: (Москва, Мир, 1987)

Проблемы микроэлектронной технологии
Julkaistu: (Москва, Наука, 1992)

Физика субмикронной литографии
Tekijä: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Julkaistu: (Москва, Наука, 1990)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Julkaistu: (2007)

Фотолитография и оптика
Julkaistu: (Москва, Советское радио, 1974)

Технологические основы изготовления интегральных микросхем учебное пособие
Tekijä: Терехов А. И.
Julkaistu: (Иваново, ИГЭУ, 2018)

Кн. 2; Космическая электроника
Julkaistu: (2015)

Актуальные проблемы микроэлектроники: межведомственный тематический научный сборник; Вып. 2
Julkaistu: (Таганрог, Изд-во Таганрогского ГРУ, 1994)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Julkaistu: (2011)

Ч. 2; Микролитография: принципы, методы, материалы
Julkaistu: (1990)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов
Tekijä: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Julkaistu: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство
Tekijä: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Julkaistu: (Долгопрудный, Интеллект, 2016)

Физические основы микроэлектроники: учебник для вузов
Tekijä: Марголин В. И. Владимир Игоревич
Julkaistu: (Москва, Академия, 2008)

Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: учебное пособие для среднего профессионально-технического образования
Tekijä: Курносов А. И. Анатолий Иванович
Julkaistu: (Москва, Высшая школа, 1980)

Основы микроэлектроники: учебное пособие для вузов
Tekijä: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Julkaistu: (Москва, Связь, 1975)

Оборудование полупроводникового производства: учебное пособие для вузов
Tekijä: Блинов И. Г. Иван Григорьевич
Julkaistu: (Москва, Машиностроение, 1986)

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами. Курс лекций
Tekijä: Юрчук С. Ю.
Julkaistu: (Москва, МИСИС, 2013)

Печатные платы: конструкции и материалы
Tekijä: Медведев А. М.
Julkaistu: (Москва, Техносфера, 2005)

Технология производства полупроводниковых приборов
Tekijä: Гаврилов Р. А. Роман Александрович
Julkaistu: (Ленинград, Энергия, 1968)

Технология полупроводникового производства (программированное пособие): учебное пособие
Tekijä: Мокеев О. К. Олег Константинович
Julkaistu: (Москва, Высшая школа, 1984)

Физические основы электроники
Tekijä: Бобылев Ю. Н.
Julkaistu: (Москва, Горная книга, 2005)

Технология интегральных схем: учебное пособие
Tekijä: Достанко А. П. Анатолий Павлович
Julkaistu: (Минск, Вышэйшая школа, 1982)

Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
Julkaistu: (Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008)

Металлические покрытия опор скольжения
Tekijä: Алексеев Н. М. Николай Матвеевич
Julkaistu: (Москва, Наука, 1973)

Электроника: курс лекций
Tekijä: Прянишников В. А. Виктор Алексеевич
Julkaistu: (СПб., Корона принт, 2000)