Моделирование технологических процессов микроэлектроники

Bibliographic Details
Corporate Authors:	Физико-технологический институт, Российская академия наук
Other Authors:	Махвиладзе Т. М
Published:	Москва, Наука, 1992
Series:	Труды ФТИАН Т. 3
Subjects:	электроника интегральные микросхемы производство математические исследования фотолитография электронная литография сухое травление материалы поверхности импульсная обработка
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=29031

Similar Items