Моделирование технологических процессов микроэлектроники
| Autor corporatiu: | , |
|---|---|
| Altres autors: | |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
Москва, Наука, 1992
|
| Col·lecció: | Труды ФТИАН Т. 3 |
| Matèries: | |
| Format: | Llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=29031 |