Моделирование технологических процессов микроэлектроники
| Körperschaften: | , |
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| Weitere Verfasser: | |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Москва, Наука, 1992
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| Schriftenreihe: | Труды ФТИАН Т. 3 |
| Schlagworte: | |
| Format: | MixedMaterials Buch |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=29031 |