|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
29031 |
| 005 |
20231030203102.0 |
| 010 |
|
|
|a 5020068675
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\29290
|
| 035 |
|
|
|a BOOK00029365
|
| 090 |
|
|
|a 29031
|
| 100 |
|
|
|a 20011209d1992 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a 000|y
|
| 200 |
1 |
|
|a Моделирование технологических процессов микроэлектроники
|f РАН, Физико-технологический ин-т; Под ред. Т. М. Махвиладзе
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Наука
|d 1992
|
| 215 |
|
|
|a 117 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Труды ФТИАН
|v Т. 3
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце статей
|
| 610 |
1 |
|
|a электроника
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a математические исследования
|
| 610 |
1 |
|
|a фотолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a электронная литография
|
| 610 |
1 |
|
|a сухое травление
|
| 610 |
1 |
|
|a материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a импульсная обработка
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Махвиладзе
|b Т. М
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Физико-технологический институт
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Российская академия наук
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b 63413507
|c 20011209
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20170110
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
