Моделирование технологических процессов микроэлектроники
| Співавтори: | , |
|---|---|
| Інші автори: | |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Москва, Наука, 1992
|
| Серія: | Труды ФТИАН Т. 3 |
| Предмети: | |
| Формат: | Книга |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=29031 |
| Фізичний опис: | 117 с. ил. |
|---|---|
| ISBN: | 5020068675 |