Физико-технологический институт, Российская академия наук, & Махвиладзе Т. М. (1992). Моделирование технологических процессов микроэлектроники. Москва, Наука, 1992.
Chicago Style (17th ed.) CitationФизико-технологический институт, Российская академия наук, and Махвиладзе Т. М. Моделирование технологических процессов микроэлектроники. Москва, Наука, 1992, 1992.
MLA (9th ed.) CitationФизико-технологический институт, et al. Моделирование технологических процессов микроэлектроники. Москва, Наука, 1992, 1992.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.