Физико-технологический институт, Российская академия наук, & Махвиладзе Т. М. (1992). Моделирование технологических процессов микроэлектроники. Москва, Наука, 1992.
Čikaški stil citiranja (17. izdanje)Физико-технологический институт, Российская академия наук, i Махвиладзе Т. М. Моделирование технологических процессов микроэлектроники. Москва, Наука, 1992, 1992.
MLA način citiranja (9. izdanje)Физико-технологический институт, et al. Моделирование технологических процессов микроэлектроники. Москва, Наука, 1992, 1992.
Upozorenje: Ovi citati možda nisu uvijek 100% točni.