Физико-технологический институт, Российская академия наук, & Махвиладзе Т. М. (1992). Моделирование технологических процессов микроэлектроники. Москва, Наука, 1992.
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Физико-технологический институт, Российская академия наук, και Махвиладзе Т. М. Моделирование технологических процессов микроэлектроники. Москва, Наука, 1992, 1992.
Παραπομπή σε μορφή MLA (9th εκδ.)Физико-технологический институт, et al. Моделирование технологических процессов микроэлектроники. Москва, Наука, 1992, 1992.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.