Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений

Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений

Bibliographic Details
Corporate Author:	Академия наук СССР (АН СССР) Институт химии
Other Authors:	Разуваев Г. А. Григорий Алексеевич (редактор)
Language:	Russian
Published:	Москва, Наука, 1981
Subjects:	Металлоорганические соединения > Химия пленки покрытия осаждение разложение термораспад гетерогенные реакции кинетика фазовый состав структура морфология пиролитические покрытия паровые фазы нитридные пленки карбидные пленки полупроводниковые пленки
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=289634

Similar Items

Применение металлоорганических соединений для получения неорганических покрытий и материалов: тезисы докладов V Всесоюзного совещания, Горький, 8-10 сентября 1987 г.
Published: (Москва, Наука, 1987)

Хемилюминесценция металлоорганических соединений
by: Булгаков Р. Г. Рамиль Гарифович
Published: (Москва, Наука, 1989)

Осаждение из газовой фазы: сокр. пер. с англ.
Published: (Москва, Атомиздат, 1970)

Химия металлоорганических соединений: пер. с англ.
by: Посон П.
Published: (Москва, Мир, 1970)

Осаждение прозрачных электропроводящих покрытий на основе оксида олова; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
by: Теменков В. С.
Published: (2016)

Вып. 1. Ч. 1-5 : Синтетические методы в области металлоорганических соединений лития, натрия, калия, рубидия и цезия; Синтетические методы в области металлоорганических соединений
by: Кочешков К. А.
Published: (1949)

Рентгеноструктурные исследования пленок Co, полученных методом CVD; Высокие технологии в современной науке и технике
by: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Published: (2014)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
by: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Published: (Томск, 1998)

Применение металлоорганических соединений для получения неорганических покрытий и материалов
Published: (Москва, Наука, 1986)

Вып. 7 : Синтетические методы в области металлоорганических соединений мышьяка; Синтетические методы в области металлоорганических соединений
by: Фрейдлина Р. Х. Рахиль Хацкелевна
Published: (1945)

Вып. 3 : Синтетические методы в области металлоорганических соединений ртути; Синтетические методы в области металлоорганических соединений
by: Макарова Л. Г.
Published: (1945)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
by: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Published: (Томск, [Б. и.], 1998)

Вып. 2 : Справочник по магнийорганическим соединениям ; Т. 3. Разделы 2-5 : Указатели конечных продуктов реакций, магнийорганических соединений, литературных источников и соавторов; Синтетические методы в области металлоорганических соединений
by: Иоффе С. Т.
Published: (1950)

Вып. 5 : Синтетические методы в области металлоорганических соединений элементов 4 группы; Синтетические методы в области металлоорганических соединений
by: Кочешков К. А.
Published: (1947)

Химическое газофазное осаждение тонких пленок оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия в качестве прекурсора; Письма в Журнал технической физики; Т. 51, № 13
Published: (2025)

Органические производные редкоземельных элементов
Published: (Москва, Наука, 1989)

Вып. 2 : Справочник по магнийорганическим соединениям ; Т. 1. Раздел 1 : Реакции магнийорганических соединений №№ 1-7284; Синтетические методы в области металлоорганических соединений
by: Иоффе С. Т.
Published: (1950)

Вып. 2 : Справочник по магнийорганическим соединениям ; Т. 2. Раздел 1 : Реакции магнийорганических соединений №№ 7285-13395; Синтетические методы в области металлоорганических соединений
by: Иоффе С. Т.
Published: (1950)

Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники
Published: (Новосибирск, Изд-во СО РАН, 2013)

Вып. 8 : Синтетические методы в области металлоорганических соединений сурьмы и висмута; Синтетические методы в области металлоорганических соединений
by: Кочешков К. А.
Published: (1947)

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
by: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Published: (Москва, Техносфера, 2006)

Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02; спец. 01.04.04
by: Ли Цзень Фень
Published: (Томск, [Б. и.], 2006)

Химия металлоорганических соединений: пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1964)

Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Сунь Чжилэй
Published: (2019)

Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02; спец. 01.04.04
by: Ли Цзень Фень
Published: (Томск, [Б. и.], 2006)

Осаждение пленок арсенида галлия методом импульсной ионной абляции и их свойства; Физика твердого тела
Published: (2009)

Нанотехнологии материалов и покрытий учебное пособие
by: Иванов Н. Б.
Published: (Казань, КНИТУ, 2019)

The dynamic sublayers for improving the adhesion of CVD diamond films on copper; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016
by: Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
Published: (2017)

Металлы в органических молекулах
by: Колпаков А. Л. Александр Лаврентьевич
Published: (Москва, Знание, 1964)

Organometallchemie: eine kurze Einfuhrung
by: Eischenbroich Ch. Christoph
Published: (Stuttgart, Teubner, 1993)

Исследование электрофизических характеристик и условий образования полимерных пленок из газовой фазы: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Саноян А. Г.
Published: (Новосибирск, 1971)

Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Ли Цзень Фень
Published: (Томск, [Б. и.], 2006)

Вып. 4 : Синтетические методы в области металлоорганических соединений элементов 3 группы; Синтетические методы в области металлоорганических соединений
by: Кочешков К. А.
Published: (1945)

Осаждение пленок арсенида галлия ионной абляцией и их термическая и химическая пассивация; ФВЗЧК-2011
Published: (2011)

Реактивное осаждение пленок Al(2)O(3) с помощью дуальной МРС; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Азина М. А.
Published: (2011)

Полупроводниковые плёнки InP полученные методом импульсного ионного осаждения; Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники)
Published: (2007)

Microstructure of amorphous copper-carbon thin films formed by plasma-enhanced chemical vapor deposition; High Temperature Material Processes: An International Quarterly of High-Technology Plasma Processes; Vol. 20, iss. 2
Published: (2016)

Mechanisms of stress generation and relaxation in thin films and coatings; AIP Conference Proceedings; Vol. 1623 : International Conference on Physical Mesomechanics of Multilevel Systems 2014, Tomsk, Russia, 3–5 September 2014
by: Shugurov A. R. Artur Rubinovich
Published: (2014)

Свойства пленок оксида галлия, полученных методом электрохимического окисления пластин GaAs: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.11
by: Петрова Ю. С. Юлианна Сергеевна
Published: (Томск, 2024)

Металлоорганические соединения в электронике
Published: (Москва, Наука, 1972)