Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений

Bibliographic Details
Corporate Author:	Академия наук СССР (АН СССР) Институт химии
Other Authors:	Разуваев Г. А. Григорий Алексеевич (340)
Published:	Москва, Наука, 1981
Subjects:	пленки покрытия осаждение разложение термораспад гетерогенные реакции кинетика фазовый состав структура морфология пиролитические покрытия паровые фазы нитридные пленки карбидные пленки полупроводниковые пленки
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=289634

Similar Items