Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений

Podrobná bibliografie
Korporativní autor:	Академия наук СССР (АН СССР) Институт химии
Další autoři:	Разуваев Г. А. Григорий Алексеевич (редактор)
Jazyk:	ruština
Vydáno:	Москва, Наука, 1981
Témata:	Металлоорганические соединения > Химия пленки покрытия осаждение разложение термораспад гетерогенные реакции кинетика фазовый состав структура морфология пиролитические покрытия паровые фазы нитридные пленки карбидные пленки полупроводниковые пленки
Médium:	MixedMaterials Kniha
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=289634

Podobné jednotky