Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений

Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Академия наук СССР (АН СССР) Институт химии
Weitere Verfasser:	Разуваев Г. А. Григорий Алексеевич (редактор)
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Москва, Наука, 1981
Schlagworte:	Металлоорганические соединения > Химия пленки покрытия осаждение разложение термораспад гетерогенные реакции кинетика фазовый состав структура морфология пиролитические покрытия паровые фазы нитридные пленки карбидные пленки полупроводниковые пленки
Format:	Buch
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=289634

Ähnliche Einträge