|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
289634 |
| 005 |
20231102000215.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 81-63019
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\314145
|
| 090 |
|
|
|a 289634
|
| 100 |
|
|
|a 20150402d1981 km y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений
|f Академия наук СССР (АН СССР), Институт химии ; под ред. Г. А. Разуваева
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Наука
|d 1981
|
| 215 |
|
|
|a 322 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце глав
|
| 606 |
1 |
|
|a Металлоорганические соединения
|x Химия
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\69444
|9 84295
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a разложение
|
| 610 |
1 |
|
|a термораспад
|
| 610 |
1 |
|
|a гетерогенные реакции
|
| 610 |
1 |
|
|a кинетика
|
| 610 |
1 |
|
|a фазовый состав
|
| 610 |
1 |
|
|a структура
|
| 610 |
1 |
|
|a морфология
|
| 610 |
1 |
|
|a пиролитические покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a паровые фазы
|
| 610 |
1 |
|
|a нитридные пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a карбидные пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые пленки
|
| 675 |
|
|
|a 547.1'13
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Разуваев
|b Г. А.
|g Григорий Алексеевич
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук СССР (АН СССР)
|b Институт химии
|c (Горький)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\21195
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150402
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20190712
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
