Послойный анализ материалов электронной техники

Dades bibliogràfiques
Autor principal:	Шелпакова И. Р. Ирина Рудольфовна
Autor corporatiu:	Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт неорганической химии им. А. В. Николаева (ИНХ)
Altres autors:	Юделевич И. Г. Иосиф Гершович (редактор), Аюпов Б. М. Борис Менгареевич, Карпов Ю. А.
Idioma:	rus
Publicat:	Новосибирск, Наука, 1984
Matèries:	Полупроводниковые приборы > Производство электронные приборы полупроводники химический анализ химическое травление монокристаллы пленки полупроводниковые слои полупроводниковые пленки измерение анодное окисление химико-термические методы
Format:	Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=286959

Ítems similars