Послойный анализ материалов электронной техники

Bibliographic Details
Main Author:	Шелпакова И. Р. Ирина Рудольфовна
Corporate Author:	Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт неорганической химии им. А. В. Николаева (ИНХ)
Other Authors:	Юделевич И. Г. Иосиф Гершович (340), Аюпов Б. М. Борис Менгареевич, Карпов Ю. А.
Published:	Новосибирск, Наука, 1984
Subjects:	электронные приборы полупроводники химический анализ химическое травление монокристаллы пленки полупроводниковые слои полупроводниковые пленки измерение анодное окисление химико-термические методы
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=286959

Similar Items