|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
286959 |
| 005 |
20231101235937.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 84-62751
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\311323
|
| 090 |
|
|
|a 286959
|
| 100 |
|
|
|a 20150311d1984 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Послойный анализ материалов электронной техники
|f И. Р. Шелпакова, И. Г. Юделевич, Б. М. Аюпов
|g Академия наук СССР (АН СССР), Сибирское отделение (СО), Институт неорганической химии им. А. В. Николаева (ИНХ) ; под ред. Ю. А. Карпова
|
| 210 |
|
|
|a Новосибирск
|c Наука
|d 1984
|
| 215 |
|
|
|a 181 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 159-179
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводниковые приборы
|x Производство
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50692
|9 69343
|
| 610 |
1 |
|
|a электронные приборы
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a химический анализ
|
| 610 |
1 |
|
|a химическое травление
|
| 610 |
1 |
|
|a монокристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые слои
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a измерение
|
| 610 |
1 |
|
|a анодное окисление
|
| 610 |
1 |
|
|a химико-термические методы
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.002
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Шелпакова
|b И. Р.
|g Ирина Рудольфовна
|
| 701 |
|
1 |
|a Юделевич
|b И. Г.
|g Иосиф Гершович
|
| 701 |
|
1 |
|a Аюпов
|b Б. М.
|g Борис Менгареевич
|
| 702 |
|
1 |
|a Карпов
|b Ю. А.
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук СССР (АН СССР)
|b Сибирское отделение (СО)
|b Институт неорганической химии им. А. В. Николаева (ИНХ)
|c (Новосибирск)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\12178
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150311
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20180202
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
