Послойный анализ материалов электронной техники

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Шелпакова И. Р. Ирина Рудольфовна
Körperschaft:	Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт неорганической химии им. А. В. Николаева (ИНХ)
Weitere Verfasser:	Юделевич И. Г. Иосиф Гершович (редактор), Аюпов Б. М. Борис Менгареевич, Карпов Ю. А.
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Новосибирск, Наука, 1984
Schlagworte:	Полупроводниковые приборы > Производство электронные приборы полупроводники химический анализ химическое травление монокристаллы пленки полупроводниковые слои полупроводниковые пленки измерение анодное окисление химико-термические методы
Format:	Buch
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=286959

Beschreibung
Beschreibung:	181 с. ил.

Ähnliche Einträge