Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии

Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии

Dades bibliogràfiques
Autor corporatiu:	Академия наук СССР (АН СССР) Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (ФТИ)
Altres autors:	Ельцов А. В. Андрей Васильевич (редактор)
Sumari:	Авт. указаны на 4-й с.
Idioma:	rus
Publicat:	Ленинград, Наука, 1984
Matèries:	Материаловедение полупроводниковое светочувствительные материалы полимерные полупроводниковые приборы производство фоторезисты диффузионные слои примеси диффузия кремний
Format:	Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=286954

Ítems similars

Новые материалы в полупроводниковой электронике: учебное пособие
per: Арсеньев П. А. Павел Александрович
Publicat: (Москва, Высшая школа, 1988)

Т. 1; Энциклопедия технологии полупроводниковых материалов. Электронная структура и свойства полупроводников
Publicat: (2004)

Полупроводниковое материаловедение
per: Товстюк К. Д. Корней Денисович
Publicat: (Киев, Наукова думка, 1984)

Диаграммы состояния в полупроводниковом материаловедении (системы на основе халькогенидов Si, Ge, Sn, Pb): справочник
per: Шелимова Л. Е. Людмила Евгеньевна
Publicat: (Москва, Наука, 1991)

Введение в фотолитографию
Publicat: (Москва, Энергия, 1977)

Полупроводниковое электрооборудование: учебное пособие; Ч. 1; Силовые полупроводниковые приборы
per: Бирзниекс Л. В. Лаймон Волдемарович
Publicat: (Рига, Редакционно-издательский отдел Латвийской ССР, 1977)

Электроприводы с полупроводниковым управлением; Тиристорные усилители в схемах электропривода
per: Иванчук Б. Н. Борис Николаевич
Publicat: (Москва, Энергия, 1966)

Введение в современную микро-и наносистемную технику: учебное пособие
per: Гридчин А. В. Александр Викторович
Publicat: (Москва, Инфра-Инженерия, 2024)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Publicat: (2007)

Диффузия в полупроводниках
per: Болтакс Б. И. Борис Иосифович
Publicat: (Москва, Физматгиз, 1961)

Полупроводниковые прибры: учебное пособие
per: Городецкий А. Ф. Александр Фомич
Publicat: (Москва, Высшая школа, 1967)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
per: Королев М. А. Михаил Александрович
Publicat: (2009)

Диффузия и деградация в полупроводниковых материалах и приборах
per: Шишияяну Ф. С. Федор Семенович
Publicat: (Кишинев, Штиинца, 1978)

Полупроводниковое электрооборудование: учебное пособие; Ч. 2; Совершенствование электрооборудования промышленных предприятий республики на основе полупроводниковых преобразователей переменно-постоянного тока
per: Бирзниекс Л. В. Лаймон Волдемарович
Publicat: (Рига, Редакционно-издательский отдел Латвийской ССР, 1978)

Вып. 5; Активируемые процессы технологии микроэлектроники
Publicat: (1979)

Микро- и нанотехнологии: материаловедение в электронном приборостроении: учебник
per: Медведев А. М. Аркадий Максимович
Publicat: (Москва, Кнорус, 2022)

Материаловедение полупроводников и диэлектриков.
per: Горелик С. С.
Publicat: (Москва, МИСИС, 2003)

Ч. 1; Микролитография: принципы, методы, материалы
Publicat: (1990)

Материаловедение полупроводников и металловедение: учебное пособие для вузов
per: Горелик С. С. Семен Самуилович
Publicat: (Москва, Металлургия, 1973)

Светочувствительные полимерные материалы
Publicat: (Ленинград, Химия, 1985)

Электроприводы с полупроводниковым управлением. Тиристорные усилители постоянного тока
per: Иванчук Б. Н. Борис Николаевич
Publicat: (Москва, Энергия, 1964)

Вып. 14; Защитные покрытия на металлах
Publicat: (1980)

Вып. 12; Защитные покрытия на металлах
Publicat: (1978)

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Publicat: ()

Неразрушающие методы определения параметров диффузии примеси в твердом теле
per: Бондарь О. Б. Олег Борисович
Publicat: (Москва, Машиностроение-1, 2004)

Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем
per: Харченко В. В. Валерий Владимирович
Publicat: (Ташкент, Фан, 1989)

Справочник по технологии микроэлектронных устройств
per: Готра З. Ю. Зенон Юрьевич
Publicat: (Львов, Каменяр, 1986)

Технология получения галлия высокой чистоты из отходов полупроводникового производства; Наукоемкие технологии; № 2
Publicat: (2003)

Вып. 22; Защитные покрытия на металлах
Publicat: (1988)

Вып. 23; Защитные покрытия на металлах
Publicat: (1989)

Дефектно-примесные реакции в полупроводниках
per: Васильев А. В. Альберт Васильевич
Publicat: (Новосибирск, Изд-во СО РАН, 2001)

Материалы для полупроводниковой электроники: [сборник]
Publicat: (Кишинев, Штиинца, 1984)

Оперативное управление полупроводниковым производством с помощью диаграммы причин и результатов; Молодежь и современные информационные технологии
per: Нечаев К. А.
Publicat: (2013)

Физические основы полупроводниковой электроники
Publicat: (Киев, Наукова думка, 1985)

Вып. 17; Защитные покрытия на металлах
Publicat: (1983)

Электронные материалы. Полупроводниковые материалы X: сборник статей
Publicat: (Таллин, Изд-во ТалТУ, 1989)

Технология полупроводниковых приборов: учебное пособие
per: Пичугин И. Г. Игорь Геннадьевич
Publicat: (Москва, Высшая школа, 1984)

Амфотерные примеси в полупроводниках
per: Фистуль В. И. Виктор Ильич
Publicat: (Москва, Металлургия, 1992)

Разработка и внедрение методик анализа фоторезистов и других объектов микроэлектроники: заключительный отчет о НИР; тема: х/д 5-23/80
Publicat: (Томск, 1981)

Управление технологическими процессами производства полупроводниковых приборов
per: Сироткин В. С. Валерий Степанович
Publicat: (Москва, Энергия, 1979)