Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии

Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии

Detalhes bibliográficos
Autor Corporativo:	Академия наук СССР (АН СССР) Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (ФТИ)
Outros Autores:	Ельцов А. В. Андрей Васильевич (редактор)
Resumo:	Авт. указаны на 4-й с.
Idioma:	russo
Publicado em:	Ленинград, Наука, 1984
Assuntos:	Материаловедение полупроводниковое светочувствительные материалы полимерные полупроводниковые приборы производство фоторезисты диффузионные слои примеси диффузия кремний
Formato:	Livro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=286954

Registos relacionados

Новые материалы в полупроводниковой электронике: учебное пособие
Por: Арсеньев П. А. Павел Александрович
Publicado em: (Москва, Высшая школа, 1988)

Т. 1; Энциклопедия технологии полупроводниковых материалов. Электронная структура и свойства полупроводников
Publicado em: (2004)

Диаграммы состояния в полупроводниковом материаловедении (системы на основе халькогенидов Si, Ge, Sn, Pb): справочник
Por: Шелимова Л. Е. Людмила Евгеньевна
Publicado em: (Москва, Наука, 1991)

Введение в фотолитографию
Publicado em: (Москва, Энергия, 1977)

Полупроводниковое электрооборудование: учебное пособие; Ч. 1; Силовые полупроводниковые приборы
Por: Бирзниекс Л. В. Лаймон Волдемарович
Publicado em: (Рига, Редакционно-издательский отдел Латвийской ССР, 1977)

Введение в современную микро-и наносистемную технику: учебное пособие
Por: Гридчин А. В. Александр Викторович
Publicado em: (Москва, Инфра-Инженерия, 2024)

Электроприводы с полупроводниковым управлением; Тиристорные усилители в схемах электропривода
Por: Иванчук Б. Н. Борис Николаевич
Publicado em: (Москва, Энергия, 1966)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Publicado em: (2007)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Por: Королев М. А. Михаил Александрович
Publicado em: (2009)

Диффузия и деградация в полупроводниковых материалах и приборах
Por: Шишияяну Ф. С. Федор Семенович
Publicado em: (Кишинев, Штиинца, 1978)

Диффузия в полупроводниках
Por: Болтакс Б. И. Борис Иосифович
Publicado em: (Москва, Физматгиз, 1961)

Вып. 5; Активируемые процессы технологии микроэлектроники
Publicado em: (1979)

Полупроводниковые прибры: учебное пособие
Por: Городецкий А. Ф. Александр Фомич
Publicado em: (Москва, Высшая школа, 1967)

Полупроводниковое электрооборудование: учебное пособие; Ч. 2; Совершенствование электрооборудования промышленных предприятий республики на основе полупроводниковых преобразователей переменно-постоянного тока
Por: Бирзниекс Л. В. Лаймон Волдемарович
Publicado em: (Рига, Редакционно-издательский отдел Латвийской ССР, 1978)

Вып. 12; Защитные покрытия на металлах
Publicado em: (1978)

Вып. 14; Защитные покрытия на металлах
Publicado em: (1980)

Материаловедение полупроводников и металловедение: учебное пособие для вузов
Por: Горелик С. С. Семен Самуилович
Publicado em: (Москва, Металлургия, 1973)

Материаловедение полупроводников и диэлектриков.
Por: Горелик С. С.
Publicado em: (Москва, МИСИС, 2003)

Светочувствительные полимерные материалы
Publicado em: (Ленинград, Химия, 1985)

Микро- и нанотехнологии: материаловедение в электронном приборостроении: учебник
Por: Медведев А. М. Аркадий Максимович
Publicado em: (Москва, Кнорус, 2022)

Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем
Por: Харченко В. В. Валерий Владимирович
Publicado em: (Ташкент, Фан, 1989)

Справочник по технологии микроэлектронных устройств
Por: Готра З. Ю. Зенон Юрьевич
Publicado em: (Львов, Каменяр, 1986)

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Publicado em: ()

Вып. 22; Защитные покрытия на металлах
Publicado em: (1988)

Вып. 23; Защитные покрытия на металлах
Publicado em: (1989)

Электроприводы с полупроводниковым управлением. Тиристорные усилители постоянного тока
Por: Иванчук Б. Н. Борис Николаевич
Publicado em: (Москва, Энергия, 1964)

Неразрушающие методы определения параметров диффузии примеси в твердом теле
Por: Бондарь О. Б. Олег Борисович
Publicado em: (Москва, Машиностроение-1, 2004)

Вып. 17; Защитные покрытия на металлах
Publicado em: (1983)

Ч. 1; Микролитография: принципы, методы, материалы
Publicado em: (1990)

Зарядовые свойства МОП-структур
Por: Гурский Л. И. Леонид Ильич
Publicado em: (Минск, Наука и техника, 1980)

Электронные материалы. Полупроводниковые материалы X: сборник статей
Publicado em: (Таллин, Изд-во ТалТУ, 1989)

Производство полупроводниковых приборов: пер. с англ.
Publicado em: (Москва, Оборонгиз, 1962)

Материалы для полупроводниковой электроники: [сборник]
Publicado em: (Кишинев, Штиинца, 1984)

Амфотерные примеси в полупроводниках
Por: Фистуль В. И. Виктор Ильич
Publicado em: (Москва, Металлургия, 1992)

Физические основы полупроводниковой электроники
Publicado em: (Киев, Наукова думка, 1985)

Физика кристаллизации: межвузовский тематический сборник научных трудов
Publicado em: (Калинин, Изд-во КГУ, 1987)

Диффузионные процессы в металлах: сборник научных трудов
Publicado em: (Тула, Изд-во ТулПИ, 1977)

Диффузионные процессы в металлах: сборник научных трудов
Publicado em: (Тула, Изд-во ТулПИ, 1978)

Диффузионные процессы в металлах: сборник научных трудов
Publicado em: (Тула, Изд-во ТулПИ, 1979)

Диффузионные процессы в металлах: сборник научных трудов
Publicado em: (Тула, Изд-во ТулПИ, 1980)