|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
286954 |
| 005 |
20231101235937.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 84-14209
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\311318
|
| 090 |
|
|
|a 286954
|
| 100 |
|
|
|a 20150311d1984 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии
|f Академия наук СССР (АН СССР), Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (ФТИ) ; под ред. А. В. Ельцова
|
| 210 |
|
|
|a Ленинград
|c Наука
|d 1984
|
| 215 |
|
|
|a 118 с.
|c ил.
|
| 300 |
|
|
|a Авт. указаны на 4-й с.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 116
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце глав
|
| 606 |
1 |
|
|a Материаловедение полупроводниковое
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\41253
|9 61058
|
| 610 |
0 |
|
|a светочувствительные материалы полимерные
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые приборы
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a фоторезисты
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузионные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a примеси
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузия
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.002.3
|z rus
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Ельцов
|b А. В.
|g Андрей Васильевич
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук СССР (АН СССР)
|b Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (ФТИ)
|c (Ленинград)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\12056
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150311
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20180115
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
