Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
| Yazar: | |
|---|---|
| Diğer Yazarlar: | |
| Dil: | Rusça |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
Москва, Радио и связь, 1984
|
| Konular: | |
| Materyal Türü: | Kitap |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=282945 |