Проблемы субмикронной технологии

Проблемы субмикронной технологии

Bibliographic Details
Other Authors:	Орликовский А. А
Language:	Russian
Published:	Москва, Наука, 1993
Series:	Труды ФТИАН Т. 6
Subjects:	электроника микроэлектронные схемы субмикронная технология низкотемпературная плазма диагностика тонкие пленки кремний травление
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=28215

Similar Items

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)

Тонкопленочная технология: пер. с англ.
by: Берри Р.
Published: (Москва, Энергия, 1972)

Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
by: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Published: (Москва, Радио и связь, 1984)

Технологические основы изготовления интегральных микросхем учебное пособие
by: Терехов А. И.
Published: (Иваново, ИГЭУ, 2018)

Технология толстых и тонких пленок: пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1972)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов
by: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Published: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Ионно-плазменная обработка материалов: курс лекций
by: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Published: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Вып. 4; Активируемые процессы технологии микроэлектроники
Published: (1978)

Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники: пер. с англ.
by: Джоветт Ч. Е. Чарльз Е.
Published: (Москва, Металлургия, 1980)

Т. 16; Электроника
Published: (1984)

Технология и конструирование интегральных микросхем: учебное пособие для вузов
by: Березин А. С. Андрей Сергеевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1992)

Физические явления в технологии микроэлектроники: сборник научных трудов
Published: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1982)

Проблемы микроэлектронной технологии
Published: (Москва, Наука, 1992)

Вакуумная техника в производстве интегральных схем
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергия, 1972)

Физические основы микротехнологии: пер. с англ.
by: Броудай И. Ивор
Published: (Москва, Мир, 1985)

Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов
by: Владимирова Л. Н.
Published: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
by: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Published: (Москва, Техносфера, 2018)

Технологии электронной компонентной базы: учебное пособие
by: Хорин И. А. Иван Анатольевич
Published: (Саратов, Ай Пи Эр Медиа, 2018)

Влияние модификации на поверхностные свойства пленок из поликапролактона; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
by: Филиппова Е. О. Екатерина Олеговна
Published: (2020)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
by: Родионов Ю. А.
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Моделирование аргон- силановой плазмы ВЧЕ разряда: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.08
by: Худайбергенов Г. Ж. Гамзат Жапарович
Published: (Омск, 2003)

Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.08
by: Худайбергенов Г. Ж. Гамзат Жапарович
Published: (Омск, [Б. и.], 2003)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Published: (2011)

Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1987)

Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебное пособие
by: Мокеев О. К. Олег Константинович
Published: (Москва, Высшая школа, 1979)

Ионное травление микроструктур
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Радио, 1979)

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
by: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1983)

Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
by: Худайбергенов Г. Ж. Гамзат Жапарович
Published: (Омск, [Б. и.], 2003)

Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве
by: Быстров Ю. А. Юрий Александрович
Published: (Москва, Радио и связь, 1988)

Лазерные методы получения полупроводниковых структур и их исследование: сборник статей
Published: (Кишинев, Штиинца, 1988)

Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков
by: Осипов К. А. Кирилл Афанасьевич
Published: (Москва, Наука, 1973)

Радиофизика и исследование свойств вещества: республиканский сборник
Published: (Омск, Изд-во ОмПИ, 1985)

Технология и конструирование интегральных микросхем: учебное пособие
by: Березин А. С. Андрей Сергеевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1983)

Физико-технологические основы микроэлектроники: сборник научных трудов
Published: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1985)

Пленочная электроника и полупроводниковые интегральные схемы: учебное пособие
by: Богдан Г. И. Галина Ивановна
Published: (Киев, Вища школа, 1979)

Кн. 1; Технология СБИС
Published: (1986)

Электромагнитные и механические свойства структур, применяемых в микроэлектронике: сборник научных трудов
Published: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1983)

Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия: пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1969)

Современные интегральные схемы: учебное пособие
by: Сафинов Ш. С. Шамиль Саидович
Published: (Уфа, Изд-во УАИ, 1980)