• English
    • Deutsch
    • Español
    • Français
    • Italiano
    • 日本語
    • Nederlands
    • Português
    • Português (Brasil)
    • 中文(简体)
    • 中文(繁體)
    • Türkçe
    • עברית
    • Gaeilge
    • Cymraeg
    • Ελληνικά
    • Català
    • Euskara
    • Русский
    • Čeština
    • Suomi
    • Svenska
    • polski
    • Dansk
    • slovenščina
    • اللغة العربية
    • বাংলা
    • Galego
    • Tiếng Việt
    • Hrvatski
    • हिंदी
    • Հայերէն
    • Українська
Advanced
  • Проблемы субмикронной технолог...
  • Cite this
  • Text this
  • Email this
  • Print
  • Export Record
    • Export to RefWorks
    • Export to EndNoteWeb
    • Export to EndNote
  • Permanent link
Проблемы субмикронной технологии

Проблемы субмикронной технологии

Bibliographic Details
Other Authors: Орликовский А. А
Language:Russian
Published: Москва, Наука, 1993
Series:Труды ФТИАН Т. 6
Subjects:
электроника
микроэлектронные схемы
субмикронная технология
низкотемпературная плазма
диагностика
тонкие пленки
кремний
травление
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=28215
  • Holdings
  • Description
  • Similar Items
  • Staff View

Similar Items

  • Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
    by: Данилин Б. С. Борис Степанович
    Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)
  • Тонкопленочная технология: пер. с англ.
    by: Берри Р.
    Published: (Москва, Энергия, 1972)
  • Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
    by: Валиев К. А. Камиль Ахметович
    Published: (Москва, Радио и связь, 1984)
  • Технологические основы изготовления интегральных микросхем учебное пособие
    by: Терехов А. И.
    Published: (Иваново, ИГЭУ, 2018)
  • Технология толстых и тонких пленок: пер. с англ.
    Published: (Москва, Мир, 1972)