|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
28215 |
| 005 |
20231030202723.0 |
| 010 |
|
|
|a 5020069914
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\28471
|
| 035 |
|
|
|a BOOK00028546
|
| 090 |
|
|
|a 28215
|
| 100 |
|
|
|a 20011209d1993 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a 000|y
|
| 200 |
1 |
|
|a Проблемы субмикронной технологии
|f Под ред. А. А. Орликовского
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Наука
|d 1993
|
| 215 |
|
|
|a 111 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Труды ФТИАН
|v Т. 6
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце ст.
|
| 610 |
1 |
|
|a электроника
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектронные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a субмикронная технология
|
| 610 |
1 |
|
|a низкотемпературная плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a диагностика
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a травление
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Орликовский
|b А. А
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b 63413507
|c 20011209
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
