Система кремний - двуокись кремния в МОП-структурах

Система кремний - двуокись кремния в МОП-структурах

Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Румак Н. В. Николай Владимирович
Korporativní autor: Академия наук Белорусской ССР (АН БССР) Физико-технический институт (ФТИ)
Jazyk:ruština
Vydáno: Минск, Наука и техника, 1986
Témata:
Полупроводниковые приборы > Производство
микроэлектроника
МДП-структуры
интегральные схемы
двуокись кремния
тонкие пленки
многослойные структуры
электрофизические параметры
контроль
термическое окисление
кремниевые пластины
окисные пленки
кремниевые соединения
термообработка
плотность
получение
осаждение
Médium: Kniha
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=281064

Podobné jednotky