Система кремний - двуокись кремния в МОП-структурах

Bibliographic Details
Main Author:	Румак Н. В. Николай Владимирович
Corporate Author:	Академия наук Белорусской ССР (АН БССР) Физико-технический институт (ФТИ)
Published:	Минск, Наука и техника, 1986
Subjects:	микроэлектроника МДП-структуры интегральные схемы двуокись кремния тонкие пленки многослойные структуры электрофизические параметры контроль термическое окисление кремниевые пластины окисные пленки кремниевые соединения термообработка плотность получение осаждение
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=281064

Similar Items