|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
281064 |
| 005 |
20231101235351.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 86-59513
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\304670
|
| 090 |
|
|
|a 281064
|
| 100 |
|
|
|a 20150116d1986 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a BY
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Система кремний - двуокись кремния в МОП-структурах
|f Н. В. Румак
|g Академия наук Белорусской ССР (АН БССР), Физико-технический институт (ФТИ)
|
| 210 |
|
|
|a Минск
|c Наука и техника
|d 1986
|
| 215 |
|
|
|a 240 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 219-236 (302 назв.)
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводниковые приборы
|x Производство
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50692
|9 69343
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a МДП-структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a двуокись кремния
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a многослойные структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a электрофизические параметры
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a термическое окисление
|
| 610 |
1 |
|
|a кремниевые пластины
|
| 610 |
1 |
|
|a окисные пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a кремниевые соединения
|
| 610 |
1 |
|
|a термообработка
|
| 610 |
1 |
|
|a плотность
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.002
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Румак
|b Н. В.
|g Николай Владимирович
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук Белорусской ССР (АН БССР)
|b Физико-технический институт (ФТИ)
|c (Минск)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\12058
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150116
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20170127
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
