Система кремний - двуокись кремния в МОП-структурах

Détails bibliographiques
Auteur principal:	Румак Н. В. Николай Владимирович
Collectivité auteur:	Академия наук Белорусской ССР (АН БССР) Физико-технический институт (ФТИ)
Langue:	russe
Publié:	Минск, Наука и техника, 1986
Sujets:	Полупроводниковые приборы > Производство микроэлектроника МДП-структуры интегральные схемы двуокись кремния тонкие пленки многослойные структуры электрофизические параметры контроль термическое окисление кремниевые пластины окисные пленки кремниевые соединения термообработка плотность получение осаждение
Format:	Livre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=281064

Description
Description matérielle:	240 с. ил.

Documents similaires