Система кремний - двуокись кремния в МОП-структурах

מידע ביבליוגרפי
מחבר ראשי:	Румак Н. В. Николай Владимирович
מחבר תאגידי:	Академия наук Белорусской ССР (АН БССР) Физико-технический институт (ФТИ)
שפה:	רוסית
יצא לאור:	Минск, Наука и техника, 1986
נושאים:	Полупроводниковые приборы > Производство микроэлектроника МДП-структуры интегральные схемы двуокись кремния тонкие пленки многослойные структуры электрофизические параметры контроль термическое окисление кремниевые пластины окисные пленки кремниевые соединения термообработка плотность получение осаждение
פורמט:	ספר
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=281064

תיאור
תיאור פיזי:	240 с. ил.

פריטים דומים