|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
275173 |
| 005 |
20231101234811.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 85-97264
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\298405
|
| 090 |
|
|
|a 275173
|
| 100 |
|
|
|a 20141112d1985 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a UZ
|
| 105 |
|
|
|a a z 000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Физико-технологические основы микроэлектроники
|e сборник научных трудов
|f Ташкентский политехнический институт им. А. Б. Беруни (ТашПИ) ; под ред. Р. С. Касымовой
|
| 210 |
|
|
|a Ташкент
|c Изд-во ТашПИ
|d 1985
|
| 215 |
|
|
|a 96 с.
|c ил.
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43811
|9 63253
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектронные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a физика
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a физико-технологические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a микросхемы
|
| 675 |
|
|
|a 621.382
|z rus
|v 4
|
| 702 |
|
1 |
|a Касымова
|b Р. С.
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Ташкентский политехнический институт им. А. Б. Беруни (ТашПИ)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\6741
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20141112
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20170328
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
