Физико-технологические основы микроэлектроники: сборник научных трудов

Библиографические подробности
Автор-организация:	Ташкентский политехнический институт им. А. Б. Беруни (ТашПИ)
Другие авторы:	Касымова Р. С. (редактор)
Язык:	русский
Опубликовано:	Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1985
Предметы:	Микроэлектроника микроэлектронные схемы физика интегральные схемы производство физико-технологические процессы кристаллы тонкие пленки микросхемы
Формат:	Книга
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=275173

Схожие документы