Основы технологии сверхбольших интегральных схем: пер. с яп.

Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Таруи Я. Ясуо
Lingua:	russo
Pubblicazione:	Москва, Радио и связь, 1985
Soggetti:	Микроэлектронные схемы интегральные сверхбольшие СБИС сверхбольшие интегральные схемы электронно-лучевая литография рисунки перенос методы шаблоны контроль кристаллы выращивание изготовление технологические процессы испытания оценка конструирование интегральные устройства
Natura:	MixedMaterials Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=274686

Documenti analoghi