Основы технологии сверхбольших интегральных схем: пер. с яп.

書誌詳細
第一著者:	Таруи Я. Ясуо
言語:	ロシア語
出版事項:	Москва, Радио и связь, 1985
主題:	Микроэлектронные схемы интегральные сверхбольшие СБИС сверхбольшие интегральные схемы электронно-лучевая литография рисунки перенос методы шаблоны контроль кристаллы выращивание изготовление технологические процессы испытания оценка конструирование интегральные устройства
フォーマット:	図書
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=274686

類似資料