Основы технологии сверхбольших интегральных схем, пер. с яп.

Bibliographic Details
Main Author:	Таруи Я. Ясуо
Published:	Москва, Радио и связь, 1985
Subjects:	СБИС сверхбольшие интегральные схемы электронно-лучевая литография рисунки перенос методы шаблоны контроль кристаллы выращивание изготовление технологические процессы испытания оценка конструирование интегральные устройства
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=274686

Similar Items