|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
274686 |
| 005 |
20231101234743.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 85-103514
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\297896
|
| 090 |
|
|
|a 274686
|
| 100 |
|
|
|a 20141107d1985 km y0rusy5003 ca
|
| 101 |
1 |
|
|a rus
|c jpn
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Основы технологии сверхбольших интегральных схем
|e пер. с яп.
|f Я. Таруи
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1985
|
| 215 |
|
|
|a 479 с.
|c ил.
|d 22 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 454-474
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные сверхбольшие
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43863
|9 63304
|
| 610 |
1 |
|
|a СБИС
|
| 610 |
1 |
|
|a сверхбольшие интегральные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a электронно-лучевая литография
|
| 610 |
1 |
|
|a рисунки
|
| 610 |
1 |
|
|a перенос
|
| 610 |
1 |
|
|a методы
|
| 610 |
1 |
|
|a шаблоны
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a выращивание
|
| 610 |
1 |
|
|a изготовление
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a испытания
|
| 610 |
1 |
|
|a оценка
|
| 610 |
1 |
|
|a конструирование
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные устройства
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.771
|z rus
|v 4
|
| 700 |
|
1 |
|a Таруи
|b Я.
|g Ясуо
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20141107
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20170120
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
