Самоформирование: теория и применение: тезисы III республиканского семинара, Вильнюс, 26-27 мая 1987 г.

Самоформирование: теория и применение: тезисы III республиканского семинара, Вильнюс, 26-27 мая 1987 г.

Detalles Bibliográficos
Autores Corporativos:	Академия наук Литовский ССР (АН ЛитССР) Институт физики полупроводников, Самоформирование. Теория и применение
Lenguaje:	ruso
Publicado:	Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987
Materias:	Микроэлектроника полупроводниковая искусственные системы развитие параметры взаимодействие самосовмещенные планарные технологии самоформирование поликристаллический кремний субмикронные структуры кремниевые интегральные схемы пористый кремний рентгеновская литография нитрид кремния тонкие пленки анодирование
Formato:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=273355

Ejemplares similares

Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов: пер. с англ.
Publicado: (Москва, Радио и связь, 1984)

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
por: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicado: (2007)

Взаимодействие молекул диоксида азота с поверхностью кремниевых нанокристаллов в слоях пористого кремния; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 126, вып. 4
Publicado: (2004)

Строение и электронная структура аморфных диэлектриков в кремниевых МДП структурах
por: Гриценко В. А. Владимир Алексеевич
Publicado: (Новосибирск, Наука, 1993)

Редкоземельные элементы и их соединения в электронной технике
Publicado: (Томск, Изд-во ТГУ, 1980)

Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
Publicado: ()

Полупроводниковые интегральные микросхемы. Технология, физика компонентов и схемотехника
Publicado: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1985)

Нанокремний: свойства, получение, применение, методы исследования и контроля
por: Ищенко А. А.
Publicado: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2011)

Кн. 1; Технология СБИС
Publicado: (1986)

Нелинейная оптика кремния и кремниевых наноструктур
por: Акципетров О. А.
Publicado: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2012)

Нитрид кремния и материалы на его основе
por: Андриевский Р. А. Ростислав Александрович
Publicado: (Москва, Металлургия, 1984)

Способ получения поликристаллического кремния
Publicado: ()

Твердофазные процессы в полупроводниках при импульсном нагреве
por: Борисенко В. Е. Виктор Евгеньевич
Publicado: (Минск, Наука и техника, 1992)

Светоизлучающие свойства перспективных нанокристаллических Si/SiC структур: учебно-методический комплекс
por: Костишко Б. М.
Publicado: (Ульяновск, УлГУ, 2006)

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado: (Томск, 2010)

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado: (Томск, 2010)

Основы полупроводниковой микроэлектроники: учебное пособие для среднего профессионально-технического образования
por: Курносов А. И. Анатолий Иванович
Publicado: (Москва, Высшая школа, 1980)

Структурно-примесные и электрофизические свойства системы Si-SiO2
por: Зайцев Н. А. Николай Алексеевич
Publicado: (Москва, Радио и связь, 1993)

Справочник по полупроводниковым диодам, транзисторам и интегральным схемам
Publicado: (Москва, Энергия, 1979)

Физика полупроводников и полупроводниковой микроэлектроники: межвузовский сборник
Publicado: (Кишинев, Штиинца, 1985)

Физика полупроводниковых приборов микроэлектроники: учебник для академического бакалавриата
por: Старосельский В. И. Виктор Игоревич
Publicado: (Москва, Юрайт, 2014)

Синхронная генерация третьей гармоники в анизотропно наноструктурированном кремнии; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 126, вып. 1
Publicado: (2004)

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
por: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicado: (2013)

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Publicado: (2009)

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления; Становление и развитие научных исследований в высшей школе; Т. 1
por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado: (2009)

Химия кремния и его несиликатных соединений
por: Савельев В. Г. Владимир Григорьевич
Publicado: (Москва, Изд-во МХТИ, 1985)

Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Publicado: (2009)

Исследование влияния механической активации сырья на свойства синтезируемого высокочистого карбида кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 308, № 6
por: Карелин В. А. Владимир Александрович
Publicado: (2005)

Быстрые термообработки в технологии СБИС
por: Пилипенко В. А. Владимир Александрович
Publicado: (Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 2004)

Transport charge of gallium arsenide films synthesized on polycrystalline silicon by ion ablation; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552: International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
Publicado: (2014)

Способ получения поликристаллического кремния
Publicado: ()

Оптические свойства наноструктурированных углерода и кремния, композитов на их основе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
por: Кан В. Е. Василий Евгеньевич
Publicado: (Омск, 2012)

Formation of repetitively pulsed high-intensity, low-energy silicon ion beams; Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment; Vol. 953
Publicado: (2020)

Компьютерная модель установки водородного восстановления как объекта управления; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Publicado: (2009)

Физика полупроводниковых приборов микроэлектроники: учебное пособие для вузов
por: Старосельский В. И. Виктор Игоревич
Publicado: (Москва, Юрайт, 2011)

Физика полупроводниковых приборов микроэлектроники: учебное пособие
por: Старосельский В. И. Виктор Игоревич
Publicado: (Москва, Высшее образование, 2009)

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado: (2010)

High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-3
por: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Publicado: (2012)

Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 314, № 2: Математика и механика. Физика
por: Лапатин Л. Г.
Publicado: (2009)

Формирование поверхностных слоёв на основе пористого кремния, выполняющих роль контейнерных материалов для лекарственных средств; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
por: Лучин А. В.
Publicado: (2020)