Самоформирование: теория и применение, тезисы III республиканского семинара, Вильнюс, 26-27 мая 1987 г.

Bibliographic Details
Corporate Authors:	Академия наук Литовский ССР (АН ЛитССР) Институт физики полупроводников, Самоформирование. Теория и применение
Published:	Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987
Subjects:	искусственные системы развитие параметры взаимодействие самосовмещенные планарные технологии самоформирование поликристаллический кремний субмикронные структуры кремниевые интегральные схемы пористый кремний рентгеновская литография нитрид кремния тонкие пленки анодирование
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=273355

Similar Items