Самоформирование: теория и применение: тезисы III республиканского семинара, Вильнюс, 26-27 мая 1987 г.

Détails bibliographiques
Collectivités auteurs:	Академия наук Литовский ССР (АН ЛитССР) Институт физики полупроводников, Самоформирование. Теория и применение
Langue:	russe
Publié:	Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987
Sujets:	Микроэлектроника полупроводниковая искусственные системы развитие параметры взаимодействие самосовмещенные планарные технологии самоформирование поликристаллический кремний субмикронные структуры кремниевые интегральные схемы пористый кремний рентгеновская литография нитрид кремния тонкие пленки анодирование
Format:	Livre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=273355

Description
Description matérielle:	60 с. ил.

Documents similaires