Проблемы литографии в микроэлектронике

Проблемы литографии в микроэлектронике

Bibliographic Details
Corporate Author:	Академия наук СССР (АН СССР) Институт общей физики им. А. М. Прохорова (ИОФ)
Other Authors:	Махвиладзе Т. М. (340)
Language:	Russian
Published:	Москва, Наука, 1987
Series:	Труды Института общей физики (ИОФАН) Т. 8
Subjects:	литография экспонирование резисты травление рентгенолитография модификация металлизация
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=272227

Similar Items

Ч. 2
Published: (1990)

Современные технологии в микроэлектронике электронный курс
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, TPU Moodle, 2014)

Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
Published: (Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008)

Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации
by: Александров В. К. Владимир Кузьмич
Published: (Минск, Наука и техника, 1983)

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование учебно-справочное руководство
by: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Published: (Долгопрудный, Интеллект, 2016)

LIGA-технология
by: Родионова Е. А.
Published: (2009)

Обработка монокристаллов в микроэлектронике
by: Карбань В. И. Валерий Иванович
Published: (Москва, Радио и связь, 1988)

Ч. 1
Published: (2008)

Математическое и машинное моделирование в микроэлектронике. ММММ-86 доклады школы-семинара, 1986 г., Паланга
Published: (Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987)

Вып. 38 : Спецматериалы для микроэлектронике
Published: (1978)

Электромагнитные и механические свойства структур, применяемых в микроэлектронике сборник научных трудов
Published: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1983)

Англо-русский словарь по микроэлектронике около 15 000 терминов
by: Прохоров К. Я. Константин Яковлевич
Published: (Москва, Русский язык, 1985)

Немецко-русский словарь по микроэлектронике 21225 терминов
by: Панкин А. В. Александр Васильевич
Published: (Москва, ЭТС, 1995)

Ч. 1
Published: (1990)

Сборник научных трудов по проблемам микроэлектронике
Published: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1979)

Автоматизация производственных процессов в микроэлектронике сборник научных трудов
Published: (Москва, [Б. и.], 1982)

Технологические проблемы микроэлектроники
Published: (Москва, Наука, 1988)

Микроэлектронная технология и ее влияние на общество пер. с англ. сборник статей
Published: (Москва, Знание, 1987)

Microelectronics
by: Alley C. L. Charles
Published: (New Jersey, Prentice Hall, 1986)

Вып. 34
Published: (1981)

Проблемы микроэлектроники сборник научных трудов
Published: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1986)

Вып. 37 : СВЧ и измерительная техника в микроэлектронике
Published: (1978)

Адаптивные промышленные роботы и их применение в микроэлектронике
by: Жаботинский Ю. Д. Юрий данилович
Published: (Москва, Радио и связь, 1985)

[Ч. 1]
Published: (1988)

Микроэлектроника: физические и технологические основы, надежность учебное пособие
by: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Published: (Москва, Высшая школа, 1986)

Расчет комплексов оборудования микроэлектроники
by: Корнилов Р. В. Ростислав Васильевич
Published: (Москва, Энергия, 1979)

Вып. 33
Published: (1981)

Электроника и интеллект
by: Федотов Я. А. Яков Андреевич
Published: (Минск, Вышэйшая школа, 1985)

Исследования новых микроэлектронных приборов и устройств. Вопросы электроники межвузовский сборник
Published: (Кишинев, Штиинца, 1987)

Микроэлектроника межвузовский сборник
Published: (Казань, Изд-во КАИ, 1978)

Микроэлектроника. Проектирование, виды микросхем, новые направления учебное пособие
by: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Published: (Москва, Высшая школа, 1978)

Вып. 39 : Оборудование, приборы и измерительные устройства микроэлектроники
Published: (1978)

Постояннотоковый полярограф для контроля микропримесей в материалах технологии микроэлектроники диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.11.13
by: Кулагин Е. М. Евгений Михайлович
Published: (Томск, [Б. и.], 1983)

Светочувствительные полимерные материалы
Published: (Ленинград, Химия, 1985)

Моделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники сборник научных трудов
Published: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1985)

Точное машиностроение для микроэлектроники
by: Онегин Е. Е. Евгений Евгеньевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1986)

Т. 2: Технологические аспекты
Published: (2011)

Физико-технологические основы микроэлектроники сборник научных трудов
Published: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1985)

Новые материалы для радио-, опто- и акустоэлектроники межвузовский сборник
Published: (Красноярск, Изд-во КГУ, 1982)

Контроль в технологии микроэлектроники
by: Колешко В. М. Владимир Михайлович
Published: (Минск, Наука и техника, 1979)