Проблемы литографии в микроэлектронике

Проблемы литографии в микроэлектронике

Podrobná bibliografie
Korporativní autor:	Академия наук СССР (АН СССР) Институт общей физики им. А. М. Прохорова (ИОФ)
Další autoři:	Махвиладзе Т. М. (редактор)
Jazyk:	ruština
Vydáno:	Москва, Наука, 1987
Edice:	Труды Института общей физики (ИОФАН) Т. 8
Témata:	Микроэлектроника литография экспонирование резисты травление рентгенолитография модификация металлизация
Médium:	Kniha
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=272227

Podobné jednotky

Ч. 2; Микролитография: принципы, методы, материалы
Vydáno: (1990)

Современные технологии в микроэлектронике: электронный курс
Autor: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Vydáno: (Томск, TPU Moodle, 2014)

Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
Vydáno: (Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008)

Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации
Autor: Александров В. К. Владимир Кузьмич
Vydáno: (Минск, Наука и техника, 1983)

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство
Autor: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Vydáno: (Долгопрудный, Интеллект, 2016)

LIGA-технология; Прогрессивные технологии и экономика в машиностроении
Autor: Родионова Е. А.
Vydáno: (2009)

Обработка монокристаллов в микроэлектронике
Autor: Карбань В. И. Валерий Иванович
Vydáno: (Москва, Радио и связь, 1988)

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур: математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами курс лекций
Autor: Юрчук С. Ю.
Vydáno: (Москва, МИСИС, 2013)

Ч. 1; Технологические основы микроэлектроники
Vydáno: (2008)

Математическое и машинное моделирование в микроэлектронике. ММММ-86: доклады школы-семинара, 1986 г., Паланга
Vydáno: (Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987)

Электромагнитные и механические свойства структур, применяемых в микроэлектронике: сборник научных трудов
Vydáno: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1983)

Сборник научных трудов по проблемам микроэлектронике
Vydáno: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1979)

Немецко-русский словарь по микроэлектронике: 21225 терминов
Autor: Панкин А. В. Александр Васильевич
Vydáno: (Москва, ЭТС, 1995)

Англо-русский словарь по микроэлектронике: около 15 000 терминов
Autor: Прохоров К. Я. Константин Яковлевич
Vydáno: (Москва, Русский язык, 1985)

Вып. 38 : Спецматериалы для микроэлектронике; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Vydáno: (1978)

Автоматизация производственных процессов в микроэлектронике: сборник научных трудов
Vydáno: (Москва, [Б. и.], 1982)

Ч. 1; Микролитография: принципы, методы, материалы
Vydáno: (1990)

Адаптивные промышленные роботы и их применение в микроэлектронике
Autor: Жаботинский Ю. Д. Юрий данилович
Vydáno: (Москва, Радио и связь, 1985)

Микроэлектронная технология и ее влияние на общество: пер. с англ.; сборник статей
Vydáno: (Москва, Знание, 1987)

Технологические проблемы микроэлектроники
Vydáno: (Москва, Наука, 1988)

Microelectronics
Autor: Alley C. L. Charles
Vydáno: (New Jersey, Prentice Hall, 1986)

Вып. 34; Полупроводниковая техника и микроэлектроника
Vydáno: (1981)

[Ч. 1]; Пути повышения стабильности и надежности микроэлементов и микросхем
Vydáno: (1988)

Вып. 37 : СВЧ и измерительная техника в микроэлектронике; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Vydáno: (1978)

Проблемы микроэлектроники: сборник научных трудов
Vydáno: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1986)

Расчет комплексов оборудования микроэлектроники
Autor: Корнилов Р. В. Ростислав Васильевич
Vydáno: (Москва, Энергия, 1979)

Микроэлектроника: физические и технологические основы, надежность: учебное пособие
Autor: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Vydáno: (Москва, Высшая школа, 1986)

Вып. 33; Полупроводниковая техника и микроэлектроника
Vydáno: (1981)

Электроника и интеллект
Autor: Федотов Я. А. Яков Андреевич
Vydáno: (Минск, Вышэйшая школа, 1985)

Исследования новых микроэлектронных приборов и устройств. Вопросы электроники: межвузовский сборник
Vydáno: (Кишинев, Штиинца, 1987)

Микроэлектроника. Проектирование, виды микросхем, новые направления: учебное пособие
Autor: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Vydáno: (Москва, Высшая школа, 1978)

Микроэлектроника: межвузовский сборник; Вып. 2
Vydáno: (Казань, Изд-во КАИ, 1978)

Вып. 39 : Оборудование, приборы и измерительные устройства микроэлектроники; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Vydáno: (1978)

Постояннотоковый полярограф для контроля микропримесей в материалах технологии микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.11.13
Autor: Кулагин Е. М. Евгений Михайлович
Vydáno: (Томск, [Б. и.], 1983)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Vydáno: (2011)

Точное машиностроение для микроэлектроники
Autor: Онегин Е. Е. Евгений Евгеньевич
Vydáno: (Москва, Радио и связь, 1986)

Моделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники: сборник научных трудов
Vydáno: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1985)

Светочувствительные полимерные материалы
Vydáno: (Ленинград, Химия, 1985)

Новые материалы для радио-, опто- и акустоэлектроники: межвузовский сборник
Vydáno: (Красноярск, Изд-во КГУ, 1982)

Физико-технологические основы микроэлектроники: сборник научных трудов
Vydáno: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1985)