Проблемы литографии в микроэлектронике

Проблемы литографии в микроэлектронике

Bibliographic Details
Corporate Author: Академия наук СССР (АН СССР) Институт общей физики им. А. М. Прохорова (ИОФ)
Other Authors: Махвиладзе Т. М. (340)
Language:Russian
Published: Москва, Наука, 1987
Series:Труды Института общей физики (ИОФАН) Т. 8
Subjects:
литография
экспонирование
резисты
травление
рентгенолитография
модификация
металлизация
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=272227

Similar Items