Проблемы литографии в микроэлектронике
| Korporativní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Jazyk: | ruština |
| Vydáno: |
Москва, Наука, 1987
|
| Edice: | Труды Института общей физики (ИОФАН) Т. 8 |
| Témata: | |
| Médium: | Kniha |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=272227 |