Проблемы литографии в микроэлектронике

Проблемы литографии в микроэлектронике

Detalles Bibliográficos
Autor Corporativo: Академия наук СССР (АН СССР) Институт общей физики им. А. М. Прохорова (ИОФ)
Otros Autores: Махвиладзе Т. М. (редактор)
Lenguaje:ruso
Publicado: Москва, Наука, 1987
Colección:Труды Института общей физики (ИОФАН) Т. 8
Materias:
Микроэлектроника
литография
экспонирование
резисты
травление
рентгенолитография
модификация
металлизация
Formato: MixedMaterials Libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=272227

Ejemplares similares