|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
272227 |
| 005 |
20231101234519.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\295433
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\270288
|
| 090 |
|
|
|a 272227
|
| 100 |
|
|
|a 20141016d1987 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Проблемы литографии в микроэлектронике
|f Академия наук СССР (АН СССР), Институт общей физики им. А. М. Прохорова (ИОФ) ; под ред. В. В. Осико
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Наука
|d 1987
|
| 215 |
|
|
|a 150 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Труды Института общей физики (ИОФАН)
|v Т. 8
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце статей
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43811
|9 63253
|
| 610 |
1 |
|
|a литография
|
| 610 |
1 |
|
|a экспонирование
|
| 610 |
1 |
|
|a резисты
|
| 610 |
1 |
|
|a травление
|
| 610 |
1 |
|
|a рентгенолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a модификация
|
| 610 |
1 |
|
|a металлизация
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Махвиладзе
|b Т. М.
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук СССР (АН СССР)
|b Институт общей физики им. А. М. Прохорова (ИОФ)
|c (Москва)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\11555
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140123
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20161223
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
