Проблемы литографии в микроэлектронике

Detalhes bibliográficos
Autor Corporativo:	Академия наук СССР (АН СССР) Институт общей физики им. А. М. Прохорова (ИОФ)
Outros Autores:	Махвиладзе Т. М. (редактор)
Idioma:	russo
Publicado em:	Москва, Наука, 1987
Colecção:	Труды Института общей физики (ИОФАН) Т. 8
Assuntos:	Микроэлектроника литография экспонирование резисты травление рентгенолитография модификация металлизация
Formato:	Livro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=272227

Descrição
Descrição Física:	150 с. ил.

Registos relacionados