Академия наук СССР (АН СССР) Институт общей физики им. А. М. Прохорова (ИОФ) & Махвиладзе Т. М. (1987). Проблемы литографии в микроэлектронике. Москва, Наука, 1987.
Chicago Style (17th ed.) CitationАкадемия наук СССР (АН СССР) Институт общей физики им. А. М. Прохорова (ИОФ) and Махвиладзе Т. М. Проблемы литографии в микроэлектронике. Москва, Наука, 1987, 1987.
MLA (9th ed.) CitationАкадемия наук СССР (АН СССР) Институт общей физики им. А. М. Прохорова (ИОФ) and Махвиладзе Т. М. Проблемы литографии в микроэлектронике. Москва, Наука, 1987, 1987.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.