|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
270706 |
| 005 |
20231101234353.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 86-55695
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\293887
|
| 090 |
|
|
|a 270706
|
| 100 |
|
|
|a 20141001d1986 m y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Оборудование полупроводникового производства
|e учебное пособие для вузов
|f И. Г. Блинов, Л. В. Кожитов
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Машиностроение
|d 1986
|
| 215 |
|
|
|a 264 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Для вузов
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 256-258 (47 назв.)
|
| 320 |
|
|
|a Предм. указ.: с. 259-263
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводниковые приборы
|x Производство
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50692
|9 69343
|
| 610 |
1 |
|
|a электронная промышленность
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 610 |
1 |
|
|a предприятия
|
| 610 |
1 |
|
|a оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a нагрев
|
| 610 |
1 |
|
|a газовые системы
|
| 610 |
1 |
|
|a монокристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузия
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксия
|
| 610 |
1 |
|
|a фотолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a монтажно-сборочные работы
|
| 610 |
1 |
|
|a поточные линии
|
| 610 |
1 |
|
|a промышленные роботы
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.002(075.8)
|z rus
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Блинов
|b И. Г.
|g Иван Григорьевич
|4 070
|
| 701 |
|
1 |
|a Кожитов
|b Л. В.
|g Лев Васильевич
|4 070
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20141001
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20170307
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
