Оборудование полупроводникового производства, учебное пособие для вузов

Bibliographic Details
Main Author:	Блинов И. Г. Иван Григорьевич
Other Authors:	Кожитов Л. В. Лев Васильевич
Published:	Москва, Машиностроение, 1986
Series:	Для вузов
Subjects:	электронная промышленность учебные пособия предприятия оборудование интегральные микросхемы нагрев газовые системы монокристаллы диффузия ионная имплантация эпитаксия фотолитография монтажно-сборочные работы поточные линии промышленные роботы
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=270706

Similar Items