Оборудование полупроводникового производства, учебное пособие для вузов

Sonraí bibleagrafaíochta
Príomhchruthaitheoir:	Блинов И. Г. Иван Григорьевич
Rannpháirtithe:	Кожитов Л. В. Лев Васильевич
Foilsithe / Cruthaithe:	Москва, Машиностроение, 1986
Sraith:	Для вузов
Ábhair:	электронная промышленность учебные пособия предприятия оборудование интегральные микросхемы нагрев газовые системы монокристаллы диффузия ионная имплантация эпитаксия фотолитография монтажно-сборочные работы поточные линии промышленные роботы
Formáid:	LEABHAR
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=270706

Cur síos
Cur síos fisiciúil:	264 с. ил.

Míreanna comhchosúla